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熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)Thermal Evaporation

簡(jiǎn)要描述:v設(shè)備用途:熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過(guò)對(duì)鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過(guò)程

基礎(chǔ)信息

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更新時(shí)間

2024-10-22

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詳細(xì)介紹

v 設(shè)備用途:熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過(guò)對(duì)鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過(guò)程??稍诟哒婵障抡舭l(fā)高質(zhì)量的不同厚度的金屬薄膜。蒸鍍薄膜種類:Au, Cr, Ag, Al, Cu, In,有機(jī)物等

v 設(shè)備組成:有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng);真空測(cè)量系統(tǒng);蒸發(fā)源;樣品加熱控溫;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成

v 樣品尺寸:8inch

v 沉積源/真空度:根據(jù)用戶定制

v 控制系統(tǒng):手動(dòng)、全自動(dòng)


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